标准设备

我司为客户提供标准的PVD镀膜系统。提供完善的交钥匙工程,包括清洗、前处理、后处理、退镀及检验设备,同时提供涂层工艺、前处理后处理等工序的培训 标准镀膜系统规格:

  蓝宝石400 蓝宝石700 蓝宝石900
外型尺寸 1.8*1.4*2.0米 2.0*2.0*2.0米 2.2*2.5*3.0米
有效镀膜空间 590*400毫米 590*950毫米 960*1100毫米
抽气系统 分子泵+机械泵 分子泵+机械泵 分子泵+机械泵
电源 50千瓦
380伏
50赫兹
3相
70千瓦
380伏
50赫兹
3相
80千瓦
380伏
50赫兹
3相
靶源数 50千瓦
380伏
50赫兹
3相
70千瓦
380伏
50赫兹
3相
80千瓦
380伏
50赫兹
3相
靶源数 4
磁控溅射   1
磁控阴极弧 1
离子源     1
4~6
磁控溅射   1~2
磁控阴极弧 2
离子源     1~2
6
磁控溅射   2
磁控阴极弧 2
离子源     2
控制系统 可编程控制器+电脑
镀膜工艺温度 80~300度
典型涂层 TiN氮化钛,TiAlN氮化铝钛,AlTiN氮化钛铝,TiAlCrN氮化铬铝钛,CrN氮化铬,DLC类金刚石等等单层,复合,纳米涂层