对于既要求较低的摩擦系数又要求较高硬度的场合, 将碳引入氮化钛涂层中, 所形成的氮碳化钛涂层（TiCN）是一种理想的选择。由于碳元素的引入，使涂层的表面润滑性提高, 摩擦系数降低。而且由于碳元素的引入，使涂层的内应力降低。但是氮碳化钛涂层不具有良好的耐热性，不适合温度较高的场合使用，由其不能使用在超过400℃的场合,而且耐冲击性也较差。