设备展示

shebeizhanshi

蓝宝石906

外型尺寸2.0*2.3*2.5米
有效镀膜空间590*950毫米
抽气系统分子泵+机械泵
电源

70KW,380V,50HZ,4PHASE

偏压高频脉冲电源
靶源数

4,磁控溅射 1~3,离子源 1~3

控制系统可编程控制器+电脑
镀膜工艺温度80～250度
典型涂层溅射TiN氮化钛，溅射CrN氮化铬，DLC类金刚石等等单层，复合，纳米涂层